晶圆盒RFID技术在半导体电子货架上的应用方案

发布时间：2025-09-25

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某半导体电子货架现场：

（1）每个晶圆盒的全生命周期数据（如蚀刻周期、清洗次数）需要通过RFID标签实时记录。

（2）当FOUP被错误放置（如CMP后晶圆进入沉积区），系统立即触发声光报警，并锁定货架操作权限。

晨控提供的解决方案：

半导体RFID读写器安装在电子货架上，通过无线射频识别技术，实时读取FOUP晶圆载具的标签信息，精确记录其存放拿取时间、存放位置、批次数据，实现自动化追踪与管理，有效提升信息检索效率和降低污染风险，确保晶圆生产与管理的高效与安全。

（2）在晶圆盒上安装RFID标签，记录生产过程和检测结果。一旦出现质量问题，可快速追溯到具体批次和生产环节，为质量改进提供依据。通过RFID系统，半导体企业能够建立完整的晶圆质量追溯体系，从原材料采购、生产加工到成品出厂，每一个环节的信息都被准确记录在标签中。当出现质量问题时，企业可以迅速定位问题源头，采取相应的措施进行整改，有效降低质量风险，提高产品质量和客户满意度。

（3）当FOUP放置在货架上时，半导体RFID读写器立即捕获其RFID标签，更新系统位置和时间戳数据。占用槽位的LED指示灯增强视觉引导。每个晶圆批次的历史数据（如蚀刻周期、清洗次数）实现全生命周期追溯，对良率分析和质量控制至关重要。系统根据RFID收集的数据（如紧急批次标记）优先处理FOUP。如果FOUP被放置在错误区域（如CMP后晶圆进入沉积区域），系统触发不匹配警报。降低或消除人工扫描识别，减少人员流动所造成的颗粒物污染。

应用产品
晨控CK-S610系列产品特点：
高集成度：集天线，放⼤器，控制器于⼀体的3合1型低频读写器。
丰富的接口和协议：RS232、RS485，支持工业协议Modbus RTU

高防护等级：防护等级达到IP67，具有防水、防腐蚀、防干扰等特点，能够适应恶劣的工业生产环境。
标准协议：读卡器工作频率134.2kHz，HDX工作模式，支持ISO11784/85射频标准标签。